«Микрон» модернизирует оборудование кристального производства

17 марта 2023, 15:38

«Фабрика идей» Микрона, который является резидентом ОЭЗ «Технополис Москва», способствует развитию культуры инноваций. По инициативе работников внедрили уже восемнадцать проектов на узловых участках производства.    Модернизировали технологическое оборудование кристального производства на участке химической обработки (для оптимизации процесса травления нитрида кремния), она обеспечила экономию (25%) одной из кислот, которая используется в техпроцессе.   По словам директора по производству АО «Микрон» Ирины Коротовой, в производство микросхем входят физические, химические, термические и механические процессы. Нужно сложное технологическое оборудование и сверхчистые дорогостоящие материалы. Каждая операция на любом этапе производства является строго регламентированной, идет контроль в автоматическом режиме, она стандартна. В  данном идеальном механизме можно применить разные таланты.    Когда выполняется процесс травления нитрида кремния на пластинах D200 кристального производства в стандартном алгоритме нагрева ортофосфорной кислоты (H3PO4) до 160°С применяют 2 штатных нагревателя, те работают все время на 100% своей мощности. Поняли, что такую конфигурацию нагревателей не назовешь оптимальной, поскольку, например, нет защиты от перегрева, (перегрев напрямую оказывает влияние на расход ортофосфорной кислоты). Инженеры Микрона решили эту задачу. Был разработан и установлен регулятор мощности погружного нагревателя. Он дает возможность управлять интенсивностью кипения, способствует экономии ценных реактивов и сводит потери к нулю. За месяц модернизация установки окупилась.

Источник: gazeta-savelki.ru

Химия Онлайн